普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理
普旭（Busch）是一家在范圍內(nèi)提供真空泵、鼓風(fēng)機(jī)和壓縮機(jī)的生產(chǎn)廠家。到2015年為止，普旭在范圍內(nèi)擁有3000名員工。廣泛的真空泵系列、專業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及廣泛的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，使得普旭（Busch）*有能力為客戶提供理想并完善的真空解決方案。
基本情況編輯
普旭（Busch）是真空泵、鼓風(fēng)機(jī)以及壓縮機(jī)的廠商之一。產(chǎn)品系列涵蓋了廣泛應(yīng)用于所有工業(yè)領(lǐng)域的真空和正壓技術(shù)解決方案。憑借在真空泵及低壓泵制造領(lǐng)域50多年的經(jīng)驗(yàn)，普旭（Busch）可提供種類齊全的產(chǎn)品，為提供廣泛的工業(yè)真空技術(shù)。
普旭（Busch）創(chuàng)建于1963年，總部位于德國(guó)馬爾堡。普旭（Busch）在德
國(guó)、瑞士、美國(guó)、英國(guó)、韓國(guó)、捷克共擁有6家現(xiàn)代化制造工廠，連同遍布于43個(gè)主要工業(yè)國(guó)家的61家分公司及完善的經(jīng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)為用戶提供專業(yè)服務(wù)。
我們公司成立于1963年。我們?cè)?0多個(gè)國(guó)家和地區(qū)擁有60多家公司，無(wú)論客戶身在何處，我們都能為客戶提供完善的建議和實(shí)際支持。
我們所有的產(chǎn)品都具有多種選項(xiàng)和*設(shè)計(jì)功能，以滿足各種應(yīng)用需求，因此我們的客戶可以從合適和具有成本效益的解決方案中受益。我們不斷評(píng)估我們的活動(dòng)，以保持高標(biāo)準(zhǔn)，并繼續(xù)開發(fā)定義真空系統(tǒng)應(yīng)用未來(lái)的創(chuàng)新技術(shù)。
我們的總部位于德國(guó)Maulburg，主要的德國(guó)制造工廠所在地。Maulburg也是德國(guó)銷售組織的所在地。Busch在瑞士，英國(guó)，捷克共和國(guó)，韓國(guó)和美國(guó)經(jīng)營(yíng)生產(chǎn)工廠。Busch集團(tuán)是一家家族企業(yè)，由Busch家族成員管理。
Busch在擁有3,000多名員工，包括許多化學(xué)工程，機(jī)械工程和服務(wù)專家。憑借我們的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，我們?yōu)榭蛻籼峁┱婵毡煤拖到y(tǒng)的無(wú)縫服務(wù)。Busch服務(wù)技術(shù)人員和工程師在各個(gè)角落和許多行業(yè)維護(hù)真空系統(tǒng)-從北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亞的食品包裝。
干式螺桿真空泵的原理：
干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來(lái)具有極大的市場(chǎng)前景。
COBRASemicon干式螺桿真空泵
極限壓力：0.001-0.03hPa（mbar）
標(biāo)稱抽速50Hz：70-7385m?/h
標(biāo)稱抽速60Hz：85-7385m?/h
干式螺桿真空泵工作原理：
與螺桿式壓縮機(jī)類似，螺桿式干式真空泵的工作過(guò)程可分為吸氣、壓縮和排氣三個(gè)過(guò)程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對(duì)相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現(xiàn)在以其中一對(duì)齒來(lái)說(shuō)明。
吸氣過(guò)程
陽(yáng)轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，陰螺桿按順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過(guò)程
轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里，陽(yáng)轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過(guò)程
螺桿泵的排氣過(guò)程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過(guò)程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣孔口被排出，
COBRASemicon干式螺桿真空泵在半導(dǎo)體，太陽(yáng)能模塊和平板顯示器生產(chǎn)等高要求工藝中以及眾多工業(yè)涂料應(yīng)用中使用效率*。
可靠
配備電機(jī)，COBRASemicon螺桿真空泵具有出色的節(jié)能潛力。簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的Busch螺桿型材（可選配額外的直接法蘭安裝的羅茨真空泵），使COBRASemicon成為功能強(qiáng)大，可靠且低維護(hù)的真空發(fā)生器。
面向應(yīng)用的
COBRASemicon螺桿真空泵有多種尺寸和型號(hào)可供選擇，可與任何工藝匹配。即使在空間有限的情況下，其緊湊的結(jié)構(gòu)也簡(jiǎn)化了安裝。這些泵具有同類產(chǎn)品中高的抽速，可提供大的產(chǎn)量（即使是氫氣）和對(duì)顆粒的廣泛耐受性。
COBRADS2610/3010E.
*螺絲設(shè)計(jì)
：
低運(yùn)營(yíng)成本，少的維護(hù)，高正常運(yùn)行時(shí)間
靈活：
面向應(yīng)用
過(guò)程時(shí)間短：
由于抽速高
緊湊的設(shè)計(jì)
COBRADS2610/3010E是經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的COBRADS系列的干式螺桿真空泵。即使在需要高氫氣吞吐量的條件下，它們的高抽速也使COBRADS螺桿真空泵成為光伏電池，平板和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻工藝的理想選擇。*COBRADS螺桿真空泵技術(shù)可以將帶粉末和顆粒的介質(zhì)抽空。
COBRADS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專門開發(fā)的螺桿型材和*的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸氣和顆粒耐受性。螺釘由單件鑄件制成，避免任何間隙，使得工藝流體或顆粒無(wú)法進(jìn)入，從而防止腐蝕。
COBRADS2610/3010E標(biāo)配集成真空助力器，可提供更高的抽速和極限壓力。前級(jí)泵和真空助力器組合在一個(gè)緊湊的底座上。
COBRADS2610/3010E配備電機(jī)，具有出色的能效。由于維護(hù)要求低，運(yùn)行成本低，正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)，生命周期長(zhǎng)，因此總體擁有成本非常低，為此性能等級(jí)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
由于采用嵌入式設(shè)計(jì)，可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)。
普旭COBRADS2610/3010E真空泵應(yīng)用：
高密度等離子體CVD（HDP-CVD）
快速熱處理（RTP）
亞大氣壓CVD（SACVD）
金屬有機(jī)CVD（MOCVD）
等離子體增強(qiáng)CVD（PECVD）
低壓CVD（LPCVD）
原子層沉積（ALD）
大容量負(fù)載鎖定
技術(shù)規(guī)格
COBRADS2610/3010E是螺桿真空泵和一個(gè)真空助力器。螺桿真空泵的氣缸內(nèi)的兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在汽缸和螺桿室之間，被壓縮并被輸送到氣體出口。在壓縮過(guò)程中，螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)彼此接觸或與氣缸接觸。因此，壓縮室中不需要潤(rùn)滑劑或工作流體。COBRADS系列真空泵采用的間接水冷卻，可在整個(gè)泵體內(nèi)實(shí)現(xiàn)可控的溫度分布，并可響應(yīng)工藝變化。*螺桿設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*的泵送速度，從而排出氫氣。
普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同類產(chǎn)品其他型號(hào)：
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
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普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理